真空镀膜设备的正常工作条件及维护方法

一、 真空镀膜设备 正常工作条件

• 环境温度：10~30℃

• 相对湿度：不大于70%

• 冷却水入口温度：不高于25℃

• 冷却水质：城市自来水或同等水质的水

• 电源电压：380V，三相50Hz或220V，单相50Hz（根据所用电器要求），电压波动范围342~399V或198V~231V，频率波动范围49~51Hz

• 设备所需的压缩空气、液氮、冷热水的压力、温度和消耗量应在产品使用说明书中注明。

• 设备周围环境整洁、清洁，无粉尘、气体等对电气及其他金属部件表面造成腐蚀或引起金属间导电的气体。

另外， 真空镀膜设备 所在的实验室或车间应保持清洁卫生。地板应为水磨石或木漆且无尘。为防止机械泵工作时排出的气体污染实验室环境，可在泵排气口上方安装排气管（金属或橡胶管），将气体排出室外。

二. 真空镀膜设备 的维修与保养方法

1、 真空镀膜设备 每镀膜200道次以上应清洗一次。

方法： 用饱和烧碱（NaOH）溶液反复擦洗真空室内壁（注意人体皮肤不要直接接触烧碱溶液，以免烫伤），使镀上的薄膜材料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落并释放出氢气。然后用水清洗真空室，并用蘸有汽油的布清洁精抽阀内的污垢。

2、粗泵（滑阀泵、旋片泵）连续运行1个月（​​雨季减半）时，需要更换新油。

方法： 旋开放油螺栓，放掉旧油，然后启动泵几秒钟，使旧油完全排出泵外。拧回放油螺栓，添加新油至额定量（通过油位观察镜观察）。连续使用半年以上时，换油时应打开油盖，用布擦净油箱内污垢。

3、重新启动机器前，注意检漏。

扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作不当，充入大气，拆下接头水管，拆下电炉板，将第一级喷嘴旋出，先用汽油将泵腔和泵胆清洗一次，然后用洗衣粉去水再次清洗，然后用水彻底清洗，待水蒸发干后，安装泵胆，添加新的扩散泵油，并装回本体，连接水管，安装扩散泵电炉板，然后即可重新启动。然后就可以重新启动机器了。重新启动机器前，应注意检漏工作。

方法： 启动维护泵，关门，几分钟后观察扩散泵段真空度是否达到6×10 Pa，否则进行检漏。检查联轴器是否装有密封橡胶圈或压碎密封件。加热前排除漏气隐患，否则扩散泵油会烧环， 真空镀膜设备 无法进入工作状态。